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1.TA610測量平臺
·齒條升降,立柱可以隨意轉動,用來測量不容易放置的工件,可提高測量精度。
·花崗巖平臺工作面精度:00級(平面公差值3μm)
·花崗巖平臺大小尺寸:400mm×250mm×70mm
·垂直升降高度:270mm
·垂直升降微調量:20mm
2.TA620測量平臺
·絲桿升降,平臺上設置V型槽,用來測量形狀較小的工件,可提高測量精度。
·花崗巖平臺工作面精度:00級(平面公差值3μm)
·花崗巖平臺大小尺寸:400mm×250mm×70mm
·垂直升降高度:300±1mm
·升降回程誤差:≤手輪旋轉1/6圈
3.TA630微調平臺
4.TA650測量平臺(TR300)
·垂直方向上的升降高度:300±1mm (微調由儀器上的可調支架完成)
·垂直方向上的旋轉角度:±45°
·回程誤差:不大于手輪的1/6圈
·平臺的平面度:00級
·平臺尺寸:600 X 420 X 80 mm
·總高度:695 mm
·X—Y平面轉角,俯仰角。
·調整范圍:X向 ±12.5mm Y向:±12.5mm
·旋轉角度:粗調 360 微調±5 俯仰角度 0~5
5.TA631微調平臺:
·X—Y平面轉角。
·調整范圍:X向 ±12.5mm Y向:±12.5mm
·旋轉角度:粗調 360 微調±5